par Mastrangeli, Massimo
;Ruythooren, Wouter;Van Hoof, Chris;Celis, J.-P
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 19, page (045015)
Publication Publié, 2009

Référence Journal of micromechanics and microengineering, 19, page (045015)
Publication Publié, 2009
Article révisé par les pairs