• Citer

Determination of the chemical and physical properties of hydrogenated carbon deposits produced by d.c. magnetron reactive sputtering

par Vanden Brande, Pierre ;Lucas, Stéphane ;Winand, René ;Weymeersch, Alain ;Renard, Lucien
Référence Surface & coatings technology, 68-69, C, page (656-661)
Publication Publié, 1994-12

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• Détails

Titre:	Determination of the chemical and physical properties of hydrogenated carbon deposits produced by d.c. magnetron reactive sputtering
Auteur:	Vanden Brande, Pierre; Lucas, Stéphane; Winand, René; Weymeersch, Alain; Renard, Lucien
Informations sur la publication:	Surface & coatings technology, 68-69, C, page (656-661)
Statut de publication:	Publié, 1994-12
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0257-8972
	info:pii/025789729490233X
	info:scp/0028741493