Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates

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Référence Materials Research Society symposia proceedings, 343, page (759-764)
Publication Publié, 1994

Article révisé par les pairs

Titre:	Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates
Auteur:	Vanden Brande, Pierre; Lucas, Stéphane; Winand, René; Renard, Lucien; Weymeersch, Alain
Informations sur la publication:	Materials Research Society symposia proceedings, 343, page (759-764)
Statut de publication:	Publié, 1994
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	SCOPUS: cp.p
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0272-9172
	info:scp/0028605093

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