Article révisé par les pairs
Titre:
  • Study of the formation of a carbon layer on a sputtering target during magnetron-enhanced reactive sputtering
Auteur:Vanden Brande, Pierre; Lucas, Stéphane; Winand, René; Renard, Lucien; Weymeersch, Alain
Informations sur la publication:Surface & coatings technology, 61, 1-3, page (151-157)
Statut de publication:Publié, 1993-12
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0257-8972
info:pii/025789729390218D
info:scp/0027908084