Study of the formation of a carbon layer on a sputtering target during magnetron-enhanced reactive sputtering

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Référence Surface & coatings technology, 61, 1-3, page (151-157)
Publication Publié, 1993-12

Article révisé par les pairs

Titre:	Study of the formation of a carbon layer on a sputtering target during magnetron-enhanced reactive sputtering
Auteur:	Vanden Brande, Pierre; Lucas, Stéphane; Winand, René; Renard, Lucien; Weymeersch, Alain
Informations sur la publication:	Surface & coatings technology, 61, 1-3, page (151-157)
Statut de publication:	Publié, 1993-12
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0257-8972
	info:pii/025789729390218D
	info:scp/0027908084

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