Atmospheric plasmas for thin film deposition: A critical review

Merche, Delphine; Vandencasteele, Nicolas; Reniers, François

doi:doi/10.1016/j.tsf.2012.01.026

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Atmospheric plasmas for thin film deposition: A critical review

par Merche, Delphine

;Vandencasteele, Nicolas

;Reniers, François

Référence Thin solid films
Publication Publié, 2012-01-20

Article révisé par les pairs

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