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Physical properties of A-C:N films produced by ion beam assisted deposition

par Rossi, François;André, Bernard;Van Veen, Anton Tom;Mijnarends, Peter E.;Schut, Henk;Labohm, Freek;Dunlop, Hugh;Delplancke, Marie-Paule ;Hubbard, Kevin
Référence Journal of materials research, 9, 9, page (2440-2449)
Publication Publié, 1994

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Titre:	Physical properties of A-C:N films produced by ion beam assisted deposition
Auteur:	Rossi, François; André, Bernard; Van Veen, Anton Tom; Mijnarends, Peter E.; Schut, Henk; Labohm, Freek; Dunlop, Hugh; Delplancke, Marie-Paule; Hubbard, Kevin
Informations sur la publication:	Journal of materials research, 9, 9, page (2440-2449)
Statut de publication:	Publié, 1994
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0884-2914
	info:doi/10.1557/JMR.1994.2440
	info:scp/79751529267
	VX-005840