Titre :
  • Comparison of the properties of BN films synthesized by inductively coupled r.f. and microwave plasmas
Auteur : Kiel, Friedbald ; Cotarelo, Maria Sol ; Delplancke, Marie-Paule ; Winand, René
Informations sur la publication : Thin solid films, 270, 1-2, (page 118-123)
Statut de publication : Publié, 1995-12
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Adhesion
Boron nitride
Optical spectroscopy
Plasma processing and deposition
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0040-6090 
info:doi/10.1016/0040-6090(95)06909-7
VX-005847