par Ye, Min Cliquez pour télécharger la liste de publications de l'auteur; Delplancke, Marie-Paule Liste de publications
Référence Diamond and related materials, 9, 7, (page 1336-1341)
Publication Publié, 2000
Article révisé par les pairs
Titre :
  • Formation of cubic boron nitride thin films using ECR plasma enhanced CVD
Auteur : Ye, Min ; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication : Diamond and related materials, 9, 7, (page 1336-1341)
Statut de publication : Publié, 2000
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Adhesion
Cubic boron nitride
Deposition
Surface roughness
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0925-9635 
info:doi/10.1016/S0925-9635(00)00257-0
info:pii/S0925963500002570
VX-005852