Titre :
  • Plasma diagnostics of an Ar/NH 3 direct-current reactive magnetron sputtering discharge for SiN x deposition
Auteur : Henry, Frédéric ; Duluard, Corinne ; Batan, Abdelkrim ; Reniers, François
Informations sur la publication : Thin solid films, 520, 20, (page 6386-6392)
Statut de publication : Publié, 2012-08
Sujet CREF : Métallurgie
Physique de l'état solide
Physique des surfaces
Chimie des solides
Mots-clés : Optical emission spectroscopy
Plasma magnetron
Silicon nitride
X-ray photoelectron spectroscopy
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0040-6090 
info:doi/10.1016/j.tsf.2012.06.048
info:pii/S0040609012007584