Article révisé par les pairs
Titre :
  • Model for Monte Carlo simulations of reflection electron energy loss spectra applied to Silicon at energies between 300 and 2000 eV
Auteur : Pauly, Nicolas ; Tougaard, Sven
Informations sur la publication : Surface and interface analysis, 42, 6-7, (page 1100-1104)
Statut de publication : Publié, 2010
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Métrologie
Mots-clés : Monte carlo
REELS
Silicon
Note : SCOPUS: cp.j
FLWIN
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0142-2421 
info:doi/10.1002/sia.3277