Enseignement: cours, TP, ...
Titre :
  • Arc cathodique filtré sous vide
Auteur : Delplancke, Marie-Paule
Statut de publication : Publié, 2001
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Note : 2ème journées d’Etude sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arc pour le Dépôt de Couches Minces, Université Paris-Sud Orsay, 15-16 novembre 2001, Conférence invitée
Langue :
  • Français