Titre :
  • Deposition and characterization of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films
Auteur : Kulisch, Wilhelm ; Popov, Cyril ; Zambov, Ludmil ; Ivanov, Borislav ; Jelinek, Miroslav ; Lancok, Ján ; Bulir, Jiri ; Delplancke, Marie-Paule
Statut de publication : Publié, 2000
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Informations sur la publication :
  • , Proceedings, 7th International Conference on Plasma Surface Engineering(September 2000: Garmisch-Partenkirchen, Germany)
Langue :
  • Anglais