par Kulisch, Wilhelm;Popov, Cyril;Zambov, Ludmil;Ivanov, Borislav;Jelinek, Miroslav;Lancok, Ján;Bulir, Jiri ;Delplancke, Marie-Paule
Référence Proceedings, 7th International Conference on Plasma Surface Engineering(September 2000: Garmisch-Partenkirchen, Germany)
Publication Publié, 2000
Publication dans des actes
Titre:
  • Deposition and characterization of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films
Auteur:Kulisch, Wilhelm; Popov, Cyril; Zambov, Ludmil; Ivanov, Borislav; Jelinek, Miroslav; Lancok, Ján; Bulir, Jiri; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication:Proceedings, 7th International Conference on Plasma Surface Engineering(September 2000: Garmisch-Partenkirchen, Germany)
Statut de publication:Publié, 2000
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais