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Characterization of magnetron sputtered carbon nitride films

par Kulisch, Wilhelm;Delplancke, Marie-Paule ;Bulir, Jiri ;Jelinek, Miroslav;Jurek, Karel;Zemek, Josef;Klimovic, J.
Référence 9th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Nitrides and silicon carbide(13-18 septembre 1998: Crete, Grèce), Proceedings
Publication Publié, 1998

Publication dans des actes

• Détails

Titre:	Characterization of magnetron sputtered carbon nitride films
Auteur:	Kulisch, Wilhelm; Delplancke, Marie-Paule; Bulir, Jiri; Jelinek, Miroslav; Jurek, Karel; Zemek, Josef; Klimovic, J.
Informations sur la publication:	9th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Nitrides and silicon carbide(13-18 septembre 1998: Crete, Grèce), Proceedings
Statut de publication:	Publié, 1998
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais