par Kulisch, Wilhelm;Delplancke, Marie-Paule ;Bulir, Jiri ;Jelinek, Miroslav;Jurek, Karel;Zemek, Josef;Klimovic,
Référence Proceedings, 9th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Nitrides and silicon carbide(13-18 septembre 1998: Crete, Grèce)
Publication Publié, 1998
Publication dans des actes
Titre:
  • Characterization of magnetron sputtered carbon nitride films
Auteur:Kulisch, Wilhelm; Delplancke, Marie-Paule; Bulir, Jiri; Jelinek, Miroslav; Jurek, Karel; Zemek, Josef; Klimovic,
Informations sur la publication:Proceedings, 9th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Nitrides and silicon carbide(13-18 septembre 1998: Crete, Grèce)
Statut de publication:Publié, 1998
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais