Analysis of gaseous species during plasma enhanced chemical vapour deposition of boron nitride thin films

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Référence 40th National AVS Symposium & Topical Conferences(Novembre, 1993: Orlando, USA), Proceedings
Publication Publié, 1993

Publication dans des actes

Titre:	Analysis of gaseous species during plasma enhanced chemical vapour deposition of boron nitride thin films
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule; Roland, P.; Winand, René
Informations sur la publication:	40th National AVS Symposium & Topical Conferences(Novembre, 1993: Orlando, USA), Proceedings
Statut de publication:	Publié, 1993
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais

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