par Delplancke, Marie-Paule ;Roland, P.;Winand, René
Référence Proceedings, 40th National AVS Symposium & Topical Conferences(Novembre, 1993: Orlando, USA)
Publication Publié, 1993
Publication dans des actes
Titre:
  • Analysis of gaseous species during plasma enhanced chemical vapour deposition of boron nitride thin films
Auteur:Delplancke, Marie-Paule; Roland, P.; Winand, René
Informations sur la publication:Proceedings, 40th National AVS Symposium & Topical Conferences(Novembre, 1993: Orlando, USA)
Statut de publication:Publié, 1993
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais