par Delplancke, Marie-Paule ;Roland, P.;Winand, René
Référence Proceedings, 9th International Conference on Thin Films(Septembre 1993: Vienna, Austria)
Publication Publié, 1993
Publication dans des actes
Titre:
  • Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) of boron nitride thin films: analysis of gaseous species
Auteur:Delplancke, Marie-Paule; Roland, P.; Winand, René
Informations sur la publication:Proceedings, 9th International Conference on Thin Films(Septembre 1993: Vienna, Austria)
Statut de publication:Publié, 1993
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais