Titre :
  • Characterization of a-SiC:H thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
Auteur : Delplancke, Marie-Paule ; Powers, James M. ; Somorjai, Gabor A.
Statut de publication : Publié, 1991
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Informations sur la publication :
  • , Proceedings, 8e Colloque International sur les Procédés Plasma(Juin 1991: Antibes-Juan les Pins, France)
Langue :
  • Anglais