par Delplancke, Marie-Paule ;Powers, James M.;Somorjai, Gabor A.
Référence Proceedings, 8e Colloque International sur les Procédés Plasma(Juin 1991: Antibes-Juan les Pins, France)
Publication Publié, 1991
Publication dans des actes
Titre:
  • Characterization of a-SiC:H thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
Auteur:Delplancke, Marie-Paule; Powers, James M.; Somorjai, Gabor A.
Informations sur la publication:Proceedings, 8e Colloque International sur les Procédés Plasma(Juin 1991: Antibes-Juan les Pins, France)
Statut de publication:Publié, 1991
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais