Article révisé par les pairs
Titre :
  • Preparation and characterization of amorphous SiC:H thin films
Auteur : Delplancke, Marie-Paule ; Powers, James M. ; Vandentop, G. J. ; Salmeron, Miquel J. ; Somorjai, Gabor A.
Informations sur la publication : Journal of vacuum science & technology, 9, 3, (page 450-455)
Statut de publication : Publié, 1991
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0734-2101 
info:doi/10.1116/1.577431
VX-005837