Article révisé par les pairs
Titre:
  • Preparation and characterization of amorphous SiC:H thin films
Auteur:Delplancke, Marie-Paule; Powers, James M.; Vandentop, G. J.; Salmeron, Miquel J.; Somorjai, Gabor A.
Informations sur la publication:Journal of vacuum science & technology, 9, 3, page (450-455)
Statut de publication:Publié, 1991
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0734-2101
info:doi/10.1116/1.577431
info:scp/84957229421
VX-005837