Preparation of SixCyHz films from methylsilane by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Recherche avancée | Historique de recherche Mon DI-fusion | À propos de DI-fusion | Contact |

;Powers, James M.;Vandentop, G. J.;Somorjai, Gabor A.
Référence Thin solid films, 202, 2, page (289-298)
Publication Publié, 1991

Article révisé par les pairs

Titre:	Preparation of SixCyHz films from methylsilane by plasma-enhanced chemical vapor deposition
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule; Powers, James M.; Vandentop, G. J.; Somorjai, Gabor A.
Informations sur la publication:	Thin solid films, 202, 2, page (289-298)
Statut de publication:	Publié, 1991
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0040-6090
	info:doi/10.1016/0040-6090(91)90100-C
	info:scp/0026188360
	VX-005826

Référencement	Visibilité	Pérennité	Facilité
Les publications encodées constituent la bibliographie académique de l'Université.	Les documents déposés sont indexés par les moteurs de recherche (Google Scholar,…).	Les documents déposés en open-access sont archivés au sein du réseau de préservation SAFE-PLN (www.safepln.org).	Les listes de publications sont compatibles avec le CV-ULB, le FNRS et accessibles sur le web.