Article révisé par les pairs
Titre :
  • Preparation of SixCyHz films from methylsilane by plasma-enhanced chemical vapor deposition
Auteur : Delplancke, Marie-Paule ; Powers, James M. ; Vandentop, G. J. ; Somorjai, Gabor A.
Informations sur la publication : Thin solid films, 202, 2, (page 289-298)
Statut de publication : Publié, 1991
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0040-6090 
info:doi/10.1016/0040-6090(91)90100-C
VX-005826