Titre :
  • Comparative characterization of nitrogen-rich CNx films prepared by different ICP-CVD techniques
Auteur : Popov, Cyril ; Bulir, Jiri ; Zambov, Ludmil ; Jelinek, Miroslav ; Delplancke, Marie-Paule ; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication : Journal de physique. IV, 11, 3, (page Pr3-731-738)
Statut de publication : Publié, 2001
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Note : 13th European Conference on Chemical Vapor Deposition (EUROCVD 13); Athens; Greece; 26 August 2001 through 31 August 2001.
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:1155-4339 
info:doi/10.1051/jp4:2001392
VX-005856