Titre :
  • Depth resolved comparative investigation of phase formation and stress build-up in cubic boron nitride films
Auteur : Klett, A. ; Freudenstein, Régine ; Kulisch, Wilhelm ; Ye, Min ; Delplancke, Marie-Paule
Informations sur la publication : Thin solid films, 398-399, (page 279-284)
Statut de publication : Publié, 2001
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Cubic boron nitride
ECR-CVD
Ion beam assisted deposition
Stress
Note : 28th International Conference on Metallurgia; San Diego,CA; United States; 30 April 2001 through 30 May 2001.
SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0040-6090 
info:doi/10.1016/S0040-6090(01)01396-7
VX-005785