Titre :
  • Application-relevant characterization of magnetron-sputtered carbon nitride films
Auteur : Jelinek, Miroslav ; Kulisch, Wilhelm ; Delplancke, Marie-Paule ; Vorlíček, Vladimír ; Studnička, Václav ; Chvostová, Dagmar ; Trchová, Miroslava ; Sobota, Jaroslav
Informations sur la publication : Diamond and related materials, 8, 10, (page 1857-1862)
Statut de publication : Publié, 1999-10
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Carbon films
Film characterization
Magnetron sputtering
Nitrides
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0925-9635 
info:doi/10.1016/S0925-9635(99)00145-4
VX-005844