Article révisé par les pairs
Titre :
  • Inductively coupled plasma and laser-induced chemical vapour deposition of thin carbon nitride films
Auteur : Popov, Cyril ; Bulir, Jiri ; Ivanov, Borislav ; Delplancke, Marie-Paule ; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication : Surface & coatings technology, 116-119, (page 261-268)
Statut de publication : Publié, 1999-09
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Carbon
Laser CVD
Nitrides
PACVD
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0257-8972 
info:doi/10.1016/S0257-8972(99)00197-8
VX-005848