Inductively coupled plasma and laser-induced chemical vapour deposition of thin carbon nitride films
par Popov, Cyril;Bulir, Jiri ;Ivanov, Borislav;Delplancke, Marie-Paule ;Kulisch, Wilhelm
Référence Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268)
Publication Publié, 1999-09
Référence Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268)
Publication Publié, 1999-09
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Popov, Cyril; Bulir, Jiri; Ivanov, Borislav; Delplancke, Marie-Paule; Kulisch, Wilhelm |
Informations sur la publication: | Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268) |
Statut de publication: | Publié, 1999-09 |
Sujet CREF: | Sciences de l'ingénieur |
Mots-clés: | Carbon |
Laser CVD | |
Nitrides | |
PACVD | |
Note générale: | SCOPUS: ar.j |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:0257-8972 |
info:doi/10.1016/S0257-8972(99)00197-8 | |
info:scp/0033319698 | |
VX-005848 |