Article révisé par les pairs
Titre:
  • Inductively coupled plasma and laser-induced chemical vapour deposition of thin carbon nitride films
Auteur:Popov, Cyril; Bulir, Jiri; Ivanov, Borislav; Delplancke, Marie-Paule; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication:Surface & coatings technology, 116-119, page (261-268)
Statut de publication:Publié, 1999-09
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:Carbon
Laser CVD
Nitrides
PACVD
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0257-8972
info:doi/10.1016/S0257-8972(99)00197-8
info:scp/0033319698
VX-005848