Article révisé par les pairs
Titre :
  • Physical properties of carbon nitride films synthesized using atomic transport reactions
Auteur : Popov, Cyril ; Plass, Martin ; Zambov, Ludmil ; Bulir, Jiri ; Delplancke, Marie-Paule ; Kulisch, Wilhelm
Informations sur la publication : Surface & coatings technology, 125, 1-3, (page 278-283)
Statut de publication : Publié, 2000-03
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Bonding structure
Carbon nitride
Composition
ICP-CVD
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0257-8972 
info:doi/10.1016/S0257-8972(99)00573-3
VX-005850