Titre :
  • Investigation of the thermal stability of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films
Auteur : Kulisch, Wilhelm ; Popov, Cyril ; Zambov, Ludmil ; Bulir, Jiri ; Delplancke, Marie-Paule ; Lancok, Ján ; Jelinek, Miroslav
Informations sur la publication : Thin solid films, 377-378, (page 148-155)
Statut de publication : Publié, 2000-12
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0040-6090 
info:doi/10.1016/S0040-6090(00)01315-8