Mechanical and optical properties of c-BN films deposited by ECR-microwave PECVD

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Référence Key engineering materials, 206-213, I, page (471-474)
Publication Publié, 2001

Article révisé par les pairs

Titre:	Mechanical and optical properties of c-BN films deposited by ECR-microwave PECVD
Auteur:	Delplancke, Marie-Paule; Ye, Min
Informations sur la publication:	Key engineering materials, 206-213, I, page (471-474)
Statut de publication:	Publié, 2001
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Mots-clés:	Cubic boron nitride
	ECR-PECVD
	Superhard material
	Thin film
Note générale:	SCOPUS: cp.k
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:1013-9826
	info:scp/0034783046

Référencement	Visibilité	Pérennité	Facilité
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