par Batan, Abdelkrim Cliquez pour télécharger la liste de publications de l'auteur; Franquet, Alexis; Vereecken, Jean Liste de publications; Reniers, François Liste de publications
Référence Surface and interface analysis, 40, 3-4, (page 754-757)
Publication Publié, 2008-04
Article révisé par les pairs
Titre :
  • Characterisation of the silicon nitride thin films deposited by plasma magnetron
Auteur : Batan, Abdelkrim ; Franquet, Alexis ; Vereecken, Jean ; Reniers, François
Informations sur la publication : Surface and interface analysis, 40, 3-4, (page 754-757)
Statut de publication : Publié, 2008-04
Sujet CREF : Chimie analytique
Chimie des surfaces et des interfaces
Note : FLWIN
Special Issue: Papers Presented at ECASIA'07: The 12th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis, Brussels, Belgium, 9–14 September 2007
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0142-2421 
info:doi/10.1002/sia.2730