Article révisé par les pairs
Titre :
  • Characterization of silicon nitride thin films deposited by plasma magnetron
Auteur : Batan, Abdelkrim ; Franquet, Alexis ; Vereecken, Jean ; Reniers, François
Informations sur la publication : Surface and interface analysis, 40, (page 754-757)
Statut de publication : Publié, 2008
Sujet CREF : Chimie analytique
Chimie des surfaces et des interfaces
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0142-2421