Titre:
  • Atomic layer deposited second order nonlinear optical metamaterial for back-end integration with CMOS-compatible nanophotonic circuitry
Auteur:Clemmen, Stéphane; Hermans, Artur; Solano, Eduardo; Dendooven, Jolien; Koskinen, Kalle; Kauranen, Martti; Brainis, Edouard; Detavernier, Christophe; Baets, Roel
Informations sur la publication:Optics Letters, 40, page (5371)
Statut de publication:Publié, 2015-01-01
Sujet CREF:Technologie des autres industries
Langue:Français
Identificateurs:urn:issn:0146-9592