Titre :
  • High speed, controlled deposition of SiOx, TiOx and hybrid TiOx/SiOx coatings by atmospheric DBD and RF plasma
Auteur : Reniers, François ; Collette, Stephanie ; Barroo, Cédric ; De Leener, Gaël ; Daniel, A ; Michel, Eric ; Batan, Abdelkrim ; Silberberg, Eric ; Tixhon, A. ; Archambeau, Catherine
Statut de publication : Non publié, 2011-07-24
Sujet CREF : Physique des plasmas
Informations sur la conférence :
  • 20th International Symposium on Plasma Chemistry (24-07-2011 - 29-07-2011: Philadelphia, PA, USA)
Langue :
  • Français