Titre:
  • High speed, controlled deposition of SiOx, TiOx and hybrid TiOx/SiOx coatings by atmospheric DBD and RF plasma
Auteur:Reniers, François; Collette, Stephanie; Barroo, Cédric; De Leener, Gaël; Daniel, A; Michel, Eric; Batan, Abdelkrim; Silberberg, Eric; Tixhon, A.; Archambeau, Catherine
Informations sur la publication:20th International Symposium on Plasma Chemistry (24-07-2011 - 29-07-2011: Philadelphia, PA, USA)
Statut de publication:Non publié, 2011-07-24
Sujet CREF:Physique des plasmas
Langue:Français