Dépôt de films minces de silicium et de nitrures de silicium par pulvérisation cathodique réactive magnétron

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Promoteur Reniers, François

Publication Non publié, 2006

Thèse de doctorat

Titre:	Dépôt de films minces de silicium et de nitrures de silicium par pulvérisation cathodique réactive magnétron
Auteur:	Batan, Abdelkrim
Promoteur:	Reniers, François
Informations sur la publication:	Université libre de Bruxelles, Faculté des sciences, Bruxelles
Date de défense:	2006
Sujet CREF:	Sciences exactes et naturelles
Volumes/pages:	1 v.
Mots-clés:	Silicon
	Silicon nitride
	Sputtering (Physics)
	Thin films
	Silicium
	Nitrure de silicium
	Pulvérisation cathodiques
	Couches minces
Intitulé du diplôme:	Doctorat en Sciences
Langue:	Français
Anneé académique:	2005-2006
Identificateurs:	ulbcat.ulb.ac.be:776613

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Référencement	Visibilité	Pérennité	Facilité
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