Titre:
  • PTFE surface etching in the post-discharge of a scanning RF plasma torch: Evidence of ejected fluorinated species
Auteur:Dufour, Thierry; Hubert, Julie; Viville, Pascal; Duluard, Corinne; Desbief, Simon; Lazzaroni, Roberto; Reniers, François
Informations sur la publication:Plasma processes and polymers, 9, 8, page (820-829)
Statut de publication:Publié, 2012-08
Sujet CREF:Physique de l'état condense [supraconducteur]
Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
Métallurgie
Mots-clés:hydrophobic surfaces
PTFE etching
RF plasma torch treatment
scanning RF plasma torch
Note générale:SCOPUS: ar.j
FLWIN
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:1612-8850
info:doi/10.1002/ppap.201100209
info:scp/84862838312