par Batan, Abdelkrim 
;Franquet, Alexis;Vereecken, Jean ;Reniers, François
Référence Surface and interface analysis, 40, 3-4, page (754-757)
Publication Publié, 2008-03
;Franquet, Alexis;Vereecken, Jean ;Reniers, François Référence Surface and interface analysis, 40, 3-4, page (754-757)
Publication Publié, 2008-03
Article révisé par les pairs
| Titre: |
|
| Auteur: | Batan, Abdelkrim; Franquet, Alexis; Vereecken, Jean; Reniers, François |
| Informations sur la publication: | Surface and interface analysis, 40, 3-4, page (754-757) |
| Statut de publication: | Publié, 2008-03 |
| Sujet CREF: | Physique de l'état condense [supraconducteur] |
| Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.] | |
| Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.] | |
| Physique des surfaces | |
| Chimie | |
| Métallurgie | |
| Chimie des solides | |
| Mots-clés: | FTIR |
| Plasma reactive magnetron sputtering | |
| Silicon nitride thin films stoichiometry | |
| XPS | |
| Note générale: | SCOPUS: cp.j |
| FLWIN | |
| Langue: | Anglais |
| Identificateurs: | urn:issn:0142-2421 |
| info:doi/10.1002/sia.2730 | |
| info:scp/42449151820 |
