par Delplancke, Françoise Cliquez pour télécharger la liste de publications de l'auteur
Référence Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, (page 454-464)
Publication Publié, 1997
Article révisé par les pairs
Titre :
  • Industrial applications on reflective or translucent samples of a novel, automated Mueller-matrix scatterometer
Auteur : Delplancke, Françoise
Informations sur la publication : Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3121, (page 454-464)
Statut de publication : Publié, 1997
Sujet CREF : Informatique appliquée logiciel
Mathématiques
Electronique et électrotechnique
Métallurgie
Physique de l'état solide
Physique de l'état condense [supraconducteur]
Physique de l'état condense [struct., propr. thermiques, etc.]
Physique de l'état condense [struct., électronique, etc.]
Mots-clés : Generalized ellipsometry
Liquid crystal device
Mueller matrix
Polarization
Scatterometry
Surface roughness
Note : SCOPUS: cp.p
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0277-786X 
info:doi/10.1117/12.278983