Article révisé par les pairs
Titre :
  • Foil-to-Foil System Integration Through Capillary Self-Alignment Directed by Laser Patterning
Auteur : Arutinov, Gari ; Mastrangeli, Massimo ; Smits, Edsger C. P. ; Van Heck, Gert ; Den Toonder, J. ; Dietzel, Andreas
Informations sur la publication : Journal of microelectromechanical systems, 24, 1, (page 126-133)
Statut de publication : Publié, 2015
Sujet CREF : Automatisme industriel et processcontrol
Assemblage
Technologie de la construction mécanique
Mots-clés : capillarity
fluidics
foil-to-foil integration
self-alignment
laser processing
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:1057-7157 
info:doi/10.1109/JMEMS.2014.2321013