Three-Dimensional Polymeric Microtiles for Optically-Tracked Fluidic Self-Assembly

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;Martinoli, Alcherio ;Brugger, Juergen
Référence Microelectronic engineering, 124, page (1-7)
Publication Publié, 2014

Article révisé par les pairs

Titre:	Three-Dimensional Polymeric Microtiles for Optically-Tracked Fluidic Self-Assembly
Auteur:	Mastrangeli, Massimo; Martinoli, Alcherio; Brugger, Juergen
Informations sur la publication:	Microelectronic engineering, 124, page (1-7)
Statut de publication:	Publié, 2014
Sujet CREF:	Chimie des surfaces et des interfaces
	Technologie de la production
Mots-clés:	SU-8
	photolithography
	self-assembly
	optical tracking
	microfabrication
	electroplating
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0167-9317
	info:doi/10.1016/j.mee.2014.04.017
	info:pii/S0167931714001580
	info:scp/84899838026

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