par Mastrangeli, Massimo Cliquez pour télécharger la liste de publications de l'auteur; Nannini, Andrea; Paci, Dario; Pieri, Francesco
Référence Modeling and Simulation of Electronic Devices
Publication Publié, 2005
Abstract de conférence
Titre :
  • Equivalent Circuit For RF Flexural Free-Free MEMS Resonators
Auteur : Mastrangeli, Massimo ; Nannini, Andrea ; Paci, Dario ; Pieri, Francesco
Statut de publication : Publié, 2005
Sujet CREF : Technol. des composantes électroniques [microélectronique]
Electronique générale
Informations sur la publication :
  • , Modeling and Simulation of Electronic Devices, MSED 2005(4-5 July 2005: Pisa (IT))
Mots-clés : modeling
RF MEMS
microfabrication
distributed parameters
equivalent circuit
Langue :
  • Anglais