par Mastrangeli, Massimo Cliquez pour télécharger la liste de publications de l'auteur; Jacot-Descombes, Loic; Gullo, Maurizio R.; Brugger, Juergen
Référence 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2014), (page 56-59)
Publication Publié, 2014
Publication dans des actes
Titre :
  • Liquid-filled sealed MEMS capsules fabricated by fluidic self-assembly
Auteur : Mastrangeli, Massimo ; Jacot-Descombes, Loic ; Gullo, Maurizio R. ; Brugger, Juergen
Statut de publication : Publié, 2014
Sujet CREF : Physique appliquée des surfaces
Technologie de la production
Informations sur la publication :
  • , 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2014), MEMS 2014(26-30 January 2014: San Francisco (CA)), IEEE, page 56-59
Mots-clés : self-assembly
liquid encapsulation
sealing
microcapsules
MEMS
fluidics
Langue :
  • Anglais