par Mastrangeli, Massimo ;Van Hoof, Chris;Baskaran, Rajashree;Celis, J.-P;Boehringer, Karl
Référence MEMS 2010(24-28 January 2010: Hong Kong), IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2010), page (476-479)
Publication Publié, 2010
Publication dans des actes
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