par Van Barel, Gregory;Modlinski, Robert;Mastrangeli, Massimo ;Witvrouw, Ann
Référence Eurosensors 2006, Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), page (282-283)
Publication Publié, 2006
Publication dans des actes
Titre:
  • Determination of Young’s modulus of poly-SiGe micromachined structures using novel mechanical actuation test techniques
Auteur:Van Barel, Gregory; Modlinski, Robert; Mastrangeli, Massimo; Witvrouw, Ann
Informations sur la publication:Eurosensors 2006, Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), page (282-283)
Statut de publication:Publié, 2006
Sujet CREF:Métrologie
Résistance et comportement des matériaux
Résistance des matériaux
Mots-clés:micromachining
test structures
poly-SiGe
characterization
Langue:Anglais