Titre :
  • Determination of Young’s modulus of poly-SiGe micromachined structures using novel mechanical actuation test techniques
Auteur : Van Barel, Gregory ; Modlinski, Robert ; Mastrangeli, Massimo ; Witvrouw, Ann
Statut de publication : Publié, 2006
Sujet CREF : Métrologie
Résistance et comportement des matériaux
Résistance des matériaux
Informations sur la publication :
  • , Eurosensors 2006, Eurosensors 2006(17-20 September 2006: Goteborg (SE)), page 282-283
Mots-clés : micromachining
test structures
poly-SiGe
characterization
Langue :
  • Anglais