Article révisé par les pairs
Titre :
  • Capillary self-alignment of mesoscopic foil components for sensor-systems-in-foil
Auteur : Arutinov, Gari ; Smits, Edsger C. P. ; Mastrangeli, Massimo ; Van Heck, Gert ; Van den Brand, J. ; Schoo, H. F. M. ; Dietzel, Andreas
Informations sur la publication : Journal of micromechanics and microengineering, 22, (page 115022)
Statut de publication : Publié, 2012
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : capillarity
self-alignment
systems-in-foil
patterning
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0960-1317