par Mastrangeli, Massimo ;Valsamis, Jean-Baptiste ;Van Hoof, Chris;Celis, J.-P;Lambert, Pierre
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 20, page (075041)
Publication Publié, 2010
Référence Journal of micromechanics and microengineering, 20, page (075041)
Publication Publié, 2010
Article révisé par les pairs
Titre: |
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Auteur: | Mastrangeli, Massimo; Valsamis, Jean-Baptiste; Van Hoof, Chris; Celis, J.-P; Lambert, Pierre |
Informations sur la publication: | Journal of micromechanics and microengineering, 20, page (075041) |
Statut de publication: | Publié, 2010 |
Sujet CREF: | Sciences de l'ingénieur |
Mots-clés: | capillarity |
modeling | |
self-alignment | |
measurement | |
beam mechanics | |
Langue: | Anglais |
Identificateurs: | urn:issn:0960-1317 |