Article révisé par les pairs
Titre :
  • Modeling and characterization of three kinds of MEMS resonators fabricated with a thick polysilicon technology
Auteur : Paci, Dario ; Mastrangeli, Massimo ; Nannini, Andrea ; Pieri, Francesco
Informations sur la publication : Analog integrated circuits and signal processing, 48, (page 41-47)
Statut de publication : Publié, 2006
Sujet CREF : Semi-conducteurs
Technol. des composantes électroniques [microélectronique]
Capteurs et périphériques
Mots-clés : Modeling
RF
resonators
MEMS
modes
measurement
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0925-1030