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Driving frequency dependence of capacitively coupled plasmas in atmospheric argon

par Atanasova, M.;Sobota, A.;Brok, W.;Degrez, Gérard ;Van Der Mullen, J.J.A.M.
Référence Journal of Physics D: Applied Physics, 45, 33
Publication Publié, 2012

Article révisé par les pairs

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• Contenu

Titre:	Driving frequency dependence of capacitively coupled plasmas in atmospheric argon
Auteur:	Atanasova, M.; Sobota, A.; Brok, W.; Degrez, Gérard; Van Der Mullen, J.J.A.M.
Informations sur la publication:	Journal of Physics D: Applied Physics, 45, 33
Statut de publication:	Publié, 2012
Sujet CREF:	Physique des plasmas
	Sciences de l'ingénieur
Note générale:	SCOPUS: ar.j
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0022-3727
	info:doi/10.1088/0022-3727/45/33/335201
	info:scp/84864685082