Titre :
  • F- detection by CRDS in a dual-frequency capacitive plasma in Ar/C4F8/O2
Auteur : Curley, Garrett A. ; Cormac, Corr ; Foldes, Tomas ; Booth, Jean Paul
Statut de publication : Non publié, 2005-09-20
Sujet CREF : Sciences exactes et naturelles
Chimie
Physique
Spectroscopie [électromagnétisme, optique, acoustique]
Physique des plasmas
Informations sur la conférence :
  • Cavity Ring-Down User Meeting (2005: Oxford, UK)
Langue :