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PMN-PT (lead magnesium niobate-lead titanate) piezoelectric material micromachining by excimer laser ablation and dry etching (DRIE)

par Ivan, I. Alex;Agnus, Joël;Lambert, Pierre
Référence Sensors and actuators. A, Physical, 177, page (37-47)
Publication Publié, 2011

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Titre:	PMN-PT (lead magnesium niobate-lead titanate) piezoelectric material micromachining by excimer laser ablation and dry etching (DRIE)
Auteur:	Ivan, I. Alex; Agnus, Joël; Lambert, Pierre
Informations sur la publication:	Sensors and actuators. A, Physical, 177, page (37-47)
Statut de publication:	Publié, 2011
Sujet CREF:	Sciences de l'ingénieur
Langue:	Anglais
Identificateurs:	urn:issn:0924-4247
	info:doi/10.1016/j.sna.2011.09.015