Article révisé par les pairs
Titre :
  • Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates
Auteur : Vanden Brande, Pierre ; Lucas, Stéphane ; Winand, René ; Renard, Lucien ; Weymeersch, Alain
Informations sur la publication : Materials Research Society symposia proceedings, 343, (page 759-764)
Statut de publication : Publié, 1994
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Note : SCOPUS: cp.p
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0272-9172