Titre :
  • Study of the formation of a carbon layer on a sputtering target during magnetron-enhanced reactive sputtering
Auteur : Vanden Brande, Pierre ; Lucas, Stéphane ; Winand, René ; Renard, Lucien ; Weymeersch, Alain
Informations sur la publication : Surface & coatings technology, 61, 1-3, (page 151-157)
Statut de publication : Publié, 1993-12
Sujet CREF : Sciences de l'ingénieur
Note : SCOPUS: ar.j
Langue :
  • Anglais
Identificateurs : urn:issn:0257-8972 
info:pii/025789729390218D