par Vanden Brande, Pierre ;Winand, René
Référence Surface & coatings technology, 52, 1, page (9-15)
Publication Publié, 1992-03
Article révisé par les pairs
Titre:
  • Nucleation and initial growth of copper deposits by high rate magnetron-enhanced sputtering
Auteur:Vanden Brande, Pierre; Winand, René
Informations sur la publication:Surface & coatings technology, 52, 1, page (9-15)
Statut de publication:Publié, 1992-03
Sujet CREF:Sciences de l'ingénieur
Note générale:SCOPUS: ar.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0257-8972
info:pii/025789729290366I
info:scp/0026837535