Article révisé par les pairs
Titre:
  • Atmospheric plasmas for thin film deposition: A critical review
Auteur:Merche, Delphine; Vandencasteele, Nicolas; Reniers, François
Informations sur la publication:Thin solid films
Statut de publication:Publié, 2012-01-20
Sujet CREF:Sciences exactes et naturelles
Chimie des surfaces et des interfaces
Mots-clés:APECVD
Atmospheric plasma
Deposition
Hybrid coatings
Inorganic coatings
Organic coatings
Plasma-polymerization
Note générale:SCOPUS: re.j
Langue:Anglais
Identificateurs:urn:issn:0040-6090
info:doi/10.1016/j.tsf.2012.01.026
info:pii/S0040609012000648
info:scp/84859210005